TOF SIMS_ How does it work_-飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）原理

热门回复：

• IONTOF-CHINA:TOF-SIMS只需要一次轰击就能得到研究点的成分全谱（含H、He和同位素信息），与其他类型的二次离子质谱相比，具有高传输、高质量分辨率（> 17,000 (FWHM)，29 u处；> 18,000 (FWHM)，PET,104 u处；> 26,000 (FWHM)，> 200 u处）、高质量精度（小于10 ppm）的基本优势，可轻松实现精准峰鉴定。此外结合扫描和溅射功能，还能得到成分全谱中任何一种成分的深度分布、二维和三维分布，并支持回溯分析。 与XPS等表面分析手段相比，TOF-SIMS技术能够以准无损的静态SIMS方式在样品原始表面上同时得到无机元素和有机分子信息，并具有更优异的空间分辨率（深度分辨优于1 nm，横向分辨优于50 nm，景深高达400 μm），更浅表的信息深度（信号采集仅来自样品表面1-3个原子层，信息深度<1 nm），更灵敏的检测能力（更高的检出限，探测限可达ppm~ppb量级），更完整精细的物质鉴定范围（> 12,000 u）。 因此，即使对于同时兼具痕量、微区、超浅层特征的复杂成分未知样品的表面分析任务，TOF-SIMS亦能提供技术支持。